说明：腐蚀性、毒性、可燃性、自燃性气体在输送过程中使用的密封式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2CL2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管均需设置调压阀。VMB内设置有气体泄露探测装置和泄露气体排气管道。